°øÁö»çÇ×
°¶·¯¸®°Ô½ÃÆÇ
±×¸°¸¶Æ®
ÀÚ·á½Ç
»ç³»°Ô½ÃÆÇ
ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ
¿Â¶óÀι®ÀÇ
home > Ä¿¹Â´ÏƼ > ÀÚ·á½Ç
Æз²¸° ÄÚÆÃÀº »ó¿ÂÀÇ Áø°ø»óÅ¿¡¼ ±âÈ»óÅÂÀÇ ¿ø·á°¡ Çü»ó¿¡ »ó°ü¾øÀÌ Á¦Ç°¿¡ °íºÐÀÚ ÇüÅ·ΠÁõÂøµÇ´Â
ÈÇÐ ÁõÂø (Chemical Vapor Deposition : CVD) ÄÚÆùýÀ» ÀǹÌÇÕ´Ï´Ù.
Æз²¸° ÀåÄ¡ ±¸¼ºÀº Áõ¹ß±â(Vaporizer), ¿ºÐÇرâ(Pyrolysis), ÁõÂø è¹ö(Deposition Chamber),
Áø°ø ¹è±âºÎ(Vacuum Pumping Line)·Î ±¸¼ºµË´Ï´Ù.
ÄÚÆà °øÁ¤Àº Áõ¹ß±â¿¡ ºÐ¸» ÇüÅ·Π»ðÀÔµÈ ¿ø·á°¡ ¾à80-180¡ÆCÀÇ ¿¿¡ ÀÇÇØ Áõ¹ßµÇ°í, Áõ¹ßµÈ ¿ø·á°¡
¾à 650 ~ 700¡ÆC ¹üÀ§ÀÇ ¿ºÐÇغθ¦ ÅëÇÏ¿© ÀÌ·®Ã¼ ±¸Á¶¿¡¼ ´Ü·®Ã¼ ±¸Á¶·Î º¯È¯µÇ¸ç, º¯È¯µÈ ´Ü·®Ã¼ÀÇ °¡½ºÀÔÀÚ°¡
ÁõÂø è¹ö ³»ºÎ¿¡¼ È®»ê ÁõÂøµÇ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î, è¹ö ³»ºÎ¿¡¼´Â »ó¿ÂÀÇ »óÅ·ΠÄÚÆø·ÀÌ Çü¼ºµË´Ï´Ù.