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Parylene Coating ( 패럴린 코팅 )

작성자: greenthermo

조회: 2935 등록일: 2021-05-04

첨부파일:

페럴린코팅 소개자료.pdf(246.8KB)Download: 23

패럴린 코팅은 상온의 진공상태에서 기화상태의 원료가 형상에
상관없이 제품에 고분자 형태로 증착되는 화학 증착 (Chemical Vapor Deposition : CVD) 코팅법을 의미합니다.   패럴린 장치 구성은 증발기(Vaporizer), 열분해기(Pyrolysis), 증착 챔버(Deposition Chamber),  진공 배기부(Vacuum Pumping Line)로 구성됩니다. 코팅 공정은 증발기에 분말 형태로 삽입된 원료가 약80-180°C의 열에 의해 증발되고,  증발된 원료가  약 650 ~ 700°C 범위의 열분해부를 통하여 이량체 구조에서 단량체 구조로 변환되며, 변환된 단량체의 가스입자가

증착 챔버 내부에서 확산 증착되는 방식으로, 챔버 내부에서는 상온의 상태로 코팅막이 형성됩니다. <img src="/wysiwyg/PEG/se2_16201193665427.png" style="max-width:100%; height:auto;">

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