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- 소형 열교환기 Mini Heat-exchanger ABP-4.9
- - 초소형 Micro Chiller 제작을 위해 개발된 미니 열교환기
- 초소형 Micro Chiller 제작을 위해 개발된 미니 열교환기
- 전자냉각 모듈을 이용한 유체의 온도제어 모듈
- 일반적으로 반도체 제조공정에서는 PCW(Process Cooling Water, 방열용 냉각수)가 공급되는 조건이므로 수냉조건의 모듈로 구성될 수 있으며, 별도의 냉각수 공급이 없는 조건에서는 공랭식 heat-sink와 Fan을 적용하여 사용이 가능.
- 유체(액체, 기체)의 온도를 가열 또는 냉각하여 목적하는 온도의 범위로 관리가 요구될 때 작고 간단하게 구성하여 사용이 가능. 유체의 흐름 상에 In-Line 형태로 구성이 가능.
히터를 적용하여 유체의 순간 가열제어 시에도 적용이 가능
- 전자냉각 모듈을 이용한 유체의 온도제어 모듈
- 일반적으로 반도체 제조공정에서는 PCW(Process Cooling Water, 방열용 냉각수)가 공급되는 조건이므로 수냉조건의 모듈로 구성될 수 있으며, 별도의 냉각수 공급이 없는 조건에서는 공랭식 heat-sink와 Fan을 적용하여 사용이 가능.
- 유체(액체, 기체)의 온도를 가열 또는 냉각하여 목적하는 온도의 범위로 관리가 요구될 때 작고 간단하게 구성하여 사용이 가능. 유체의 흐름 상에 In-Line 형태로 구성이 가능.
히터를 적용하여 유체의 순간 가열제어 시에도 적용이 가능
- 초소형 Micro Chiller
- 전자냉각 모듈을 이용한 유체의 온도제어 모듈
- 일반적으로 반도체 제조공정에서는 PCW(Process Cooling Water, 방열용 냉각수)가 공급되는 조건이므로 수냉조건의 모듈로 구성될 수 있으며, 별도의 냉각수 공급이 없는 조건에서는 공랭식 heat-sink와 Fan을 적용하여 사용이 가능.
- 유체(액체, 기체)의 온도를 가열 또는 냉각하여 목적하는 온도의 범위로 관리가 요구될 때 작고 간단하게 구성하여 사용이 가능. 유체의 흐름 상에 In-Line 형태로 구성이 가능.
히터를 적용하여 유체의 순간 가열제어 시에도 적용이 가능
- 전자냉각 모듈을 이용한 유체의 온도제어 모듈
- 일반적으로 반도체 제조공정에서는 PCW(Process Cooling Water, 방열용 냉각수)가 공급되는 조건이므로 수냉조건의 모듈로 구성될 수 있으며, 별도의 냉각수 공급이 없는 조건에서는 공랭식 heat-sink와 Fan을 적용하여 사용이 가능.
- 유체(액체, 기체)의 온도를 가열 또는 냉각하여 목적하는 온도의 범위로 관리가 요구될 때 작고 간단하게 구성하여 사용이 가능. 유체의 흐름 상에 In-Line 형태로 구성이 가능.
히터를 적용하여 유체의 순간 가열제어 시에도 적용이 가능
